渦輪分子泵組

MPCS-100渦輪分子泵組產(chǎn)品介紹

       MPCS-100渦輪分子泵組可為物理吸附儀、化學(xué)吸附儀等多類(lèi)儀器提供1×10-6Pa的極限真空度，無(wú)需單獨配置分子泵控制器，并加入*的真空監測與泵組工作調節裝置
■ 儀器性能優(yōu)勢

1. 無(wú)需單獨購置控制器

2. 渦輪分子泵的出入口壓力值可監測

3. 擁有前后級工作調節裝置，避免前級泵反油對渦輪分子泵的影響

4. 泵組的工作全部智能控制，無(wú)需人員介入

5. *的法蘭連接結構，有效提高入口氣密性
■ 產(chǎn)品應用*技術(shù)

1. *的智能控制系統

采用彼奧德研發(fā)團隊提供的MPCS控制系統，通過(guò)對各關(guān)鍵點(diǎn)的壓力及工作狀態(tài)監控，有效的對泵組各部分工作狀態(tài)進(jìn)行調節和控制，并有效提高泵的工作效率及使用壽命 

2. 應用*的法蘭結構

3. 前級泵與渦輪分子泵配置調節裝置

· 技術(shù)參數

· 極限真空：1×10-6Pa

· 前級泵抽速：采用I-PID技術(shù)可調

· 供電系統：與MPCS控制系統集成

· 控制系統：采用MPCS控制系統，可智能控制并有效

· 協(xié)調前后級工作狀態(tài)